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  1. 学会発表・講演等
  2. 口頭発表

エッチピット深さ測定用顕微鏡系の検討

https://repo.qst.go.jp/records/63056
https://repo.qst.go.jp/records/63056
9f37861c-ab52-4c3f-9827-107773bffa87
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2009-04-17
タイトル
タイトル エッチピット深さ測定用顕微鏡系の検討
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 小平, 聡

× 小平, 聡

WEKO 622898

小平, 聡

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安田, 仲宏

× 安田, 仲宏

WEKO 622899

安田, 仲宏

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本間, 義浩

× 本間, 義浩

WEKO 622900

本間, 義浩

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梅島, 洋介

× 梅島, 洋介

WEKO 622901

梅島, 洋介

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阿須賀, 拓

× 阿須賀, 拓

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阿須賀, 拓

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太田, 周也

× 太田, 周也

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太田, 周也

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佐藤, 匡

× 佐藤, 匡

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佐藤, 匡

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小平 聡

× 小平 聡

WEKO 622905

en 小平 聡

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安田 仲宏

× 安田 仲宏

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en 安田 仲宏

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阿須賀 拓

× 阿須賀 拓

WEKO 622907

en 阿須賀 拓

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太田 周也

× 太田 周也

WEKO 622908

en 太田 周也

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佐藤 匡

× 佐藤 匡

WEKO 622909

en 佐藤 匡

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 CR-39固体飛跡検出器などに生成したエッチピットの計測方法としては、エッチピット開口部の顕微鏡画像からピットの長短径を抽出しするのが一般的である。しかしながら、飛跡生成感度(S)が十分に大きくなってくると(S~5)、ピット径とSとの間に成り立つ幾何学に従って、Sの微小増加量に対するピット径の差が殆どなくなってしまう(飽和してしまう)ために、十分な電荷分解能で電荷弁別できない。一方、最も直接的な情報であるエッチピットの深さ(コーン長)は、単純に飛跡生成感度の比例関係になるので、原理的にはSの増加に伴うエッチピット深さの飽和は起こらない。従来、エッチピットの深さ測定は目視による作業によるもので、非常に手間と時間が掛かっていた。本研究では、エッチピットの深さ方向への断層画像を撮像し、画像処理によってエッチピット深さを自動測定する顕微鏡系の検討を行っているので、その開発現状について報告する。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 第24回固体飛跡検出器研究会
発表年月日
日付 2009-03-28
日付タイプ Issued
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Ver.1 2023-05-15 21:23:42.352884
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