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最新実用真空技術総覧
https://repo.qst.go.jp/records/58934
https://repo.qst.go.jp/records/589341f67ecf6-7791-4522-aa69-cbefc6c8feaf
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-02-07 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 最新実用真空技術総覧 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
寺岡, 有殿
× 寺岡, 有殿× 寺岡 有殿 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 2分冊構成 第1部は真空工学の基礎（希薄気体の性質、真空ポンプ、真空計測器、真空部品、真空材料、真空装置の取扱い、環境・安全・衛生対策と保守）、第2部は真空応用システム（低・中真空の利用、金属材料の加工、薄膜、分子ビーム技術、表面分析、巨大真空システム、真空が牽引する次世代先端科学技術、環境・安全・衛生対策と法規、計算物理）について詳細に記載。 | |||||
| 書誌情報 |
最新実用真空技術総覧 発行日 2019-02 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 株式会社エヌ・ティー・エス | |||||
| ISBN | ||||||
| 識別子タイプ | ISBN | |||||
| 関連識別子 | 978-4-86043-559-2 | |||||
