@article{oai:repo.qst.go.jp:00058934, author = {寺岡, 有殿 and 寺岡 有殿}, journal = {最新実用真空技術総覧}, month = {Feb}, note = {2分冊構成 第1部は真空工学の基礎(希薄気体の性質、真空ポンプ、真空計測器、真空部品、真空材料、真空装置の取扱い、環境・安全・衛生対策と保守)、第2部は真空応用システム(低・中真空の利用、金属材料の加工、薄膜、分子ビーム技術、表面分析、巨大真空システム、真空が牽引する次世代先端科学技術、環境・安全・衛生対策と法規、計算物理)について詳細に記載。}, title = {最新実用真空技術総覧}, year = {2019} }