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アイテム
プラズマEUV光源の原子過程と流体力学シミュレーションの課題
https://repo.qst.go.jp/records/55988
https://repo.qst.go.jp/records/55988058a607f-dfc1-4dd8-964f-a5b6f1951808
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-11-07 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | プラズマEUV光源の原子過程と流体力学シミュレーションの課題 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | レーザー生成プラズマを媒質とするＥＵＶ光源研究開発において、実験結果の解析や最適化に用いられている原子過程、流体力学のシミュレーションの物理モデル、計算手法について述べる。スズプラズマの発光の原子分子過程、ドロップレットターゲットのアブレーションによる粒子発生などのモデリングの現状、課題について述べる。 | |||||
| 書誌情報 |
放射線化学会誌 号 102, p. 35-40, 発行日 2016-11 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 2188-0115 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.radiation-chemistry.org | |||||
| 関連名称 | http://www.radiation-chemistry.org | |||||
