@article{oai:repo.qst.go.jp:00055988, author = {佐々木, 明 and 佐々木 明}, issue = {102}, journal = {放射線化学会誌}, month = {Nov}, note = {レーザー生成プラズマを媒質とするEUV光源研究開発において、実験結果の解析や最適化に用いられている原子過程、流体力学のシミュレーションの物理モデル、計算手法について述べる。スズプラズマの発光の原子分子過程、ドロップレットターゲットのアブレーションによる粒子発生などのモデリングの現状、課題について述べる。}, pages = {35--40}, title = {プラズマEUV光源の原子過程と流体力学シミュレーションの課題}, year = {2016} }