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  1. プロシーディングス

Ion Channeling Measurements of β-FeSi2 Films Epitaxially Grown on Si(111) and Their Analysis by Multiple Scattering Theory

https://repo.qst.go.jp/records/54882
https://repo.qst.go.jp/records/54882
c65d84c1-a633-46fc-8e75-2b6b6f8a9965
Item type 会議発表論文 / Conference Paper(1)
公開日 2018-04-15
タイトル
タイトル Ion Channeling Measurements of β-FeSi2 Films Epitaxially Grown on Si(111) and Their Analysis by Multiple Scattering Theory
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
資源タイプ conference paper
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 淵, 雅也 (九工大)

× 淵, 雅也 (九工大)

WEKO 561195

淵, 雅也 (九工大)

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有馬, 幹尋 (九工大)

× 有馬, 幹尋 (九工大)

WEKO 561196

有馬, 幹尋 (九工大)

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鳴海, 一雅

× 鳴海, 一雅

WEKO 561197

鳴海, 一雅

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寺井, 慶和 (九工大)

× 寺井, 慶和 (九工大)

WEKO 561198

寺井, 慶和 (九工大)

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前田, 佳均 (九工大)

× 前田, 佳均 (九工大)

WEKO 561199

前田, 佳均 (九工大)

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鳴海 一雅

× 鳴海 一雅

WEKO 561200

en 鳴海 一雅

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Si基板上に反応性蒸着エピタキシー法で初期層(テンプレート)を成長させ、その上に分子線エピタキシー法で高品位のβ-FeSi2薄膜をヘテロエピタキシャル成長させることが可能になっている。Si(111)基板上にエピタキシャル成長したβ-FeSi2(110)、(101)の結晶性を評価するために、Si<111>軸方向の原子列での軸に垂直な方向の原子変位をラザフォード後方散乱/チャネリング法により評価した。イオンの単一散乱のみを仮定した解析からは、原子変位はFe原子で0.11 nm、Si原子で0.095 nmとなり、非常に大きな値となった。薄膜内部でのイオンの多重散乱を考慮した結果、原子変位0.04 nmという値を得た。この値は、Si(111)面上で成長可能なβ-FeSi2(110)、(101)面の6つの等価ドメインの積層欠陥からなるモザイク構造のステップ高さ0.31 nmの1/6とほぼ一致する。この結果より、小角散乱の原因はモザイク構造のβ-FeSi2(110)、(101)面に不可避に成長 した積層欠陥であると推察できる。
書誌情報 JJAP Conference Proceedings

巻 5, p. 011104, 発行日 2017-05
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.7567/JJAPCP.5.011104
関連サイト
識別子タイプ URI
関連識別子 https://journals.jsap.jp/jjapproceedings/online/5-011104
関連名称 https://journals.jsap.jp/jjapproceedings/online/5-011104
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Ver.1 2023-05-15 22:55:41.843983
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