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アイテム
ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子
https://repo.qst.go.jp/records/48232
https://repo.qst.go.jp/records/4823278f70d9b-8585-499d-a876-4ca7e666e05e
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2017-07-28 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | journal article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× 浮田, 龍一× 笹井, 浩行× 長野, 哲也× 小池 雅人 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 従来の金属層(M層)を積層した回折格子上に反射率が高く消衰係数が小さな材料(T層)を積層してB-K発光(6.76nm、184eV)スペクトル周辺の回折格子の回折効率を高める方法の効果について理論的研究を行った。 これまでの論文では、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)オーバーコートしたNi回折格子でこの効果を確認している。本論文では、La、La2O3、LaF3層をT層、Niを層と仮定して数値計算によりこの方法の有効性を検討した。 その結果、波長6.76nm、85°の入射角において、回折効率は従来のNi回折格子の場合と比較して、それぞれLa、La2O3、LaF3層が26.8,29.8,29.8nmの最適厚さのT層が積層された回折格子で2.51,2.28,2.01倍となった。 | |||||
書誌情報 |
X線分析の進歩 巻 48, 号 1, p. 122-128, 発行日 2017-03 |
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出版者 | ||||||
出版者 | アグネ技術センター | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 978-4-901496-87-2 C3043 |