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  1. 原著論文

ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子

https://repo.qst.go.jp/records/48232
https://repo.qst.go.jp/records/48232
78f70d9b-8585-499d-a876-4ca7e666e05e
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2017-07-28
タイトル
タイトル ボロン-K発光分光計測のための高回折効率広角ラミナー型回折格子
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 小池, 雅人

× 小池, 雅人

WEKO 484607

小池, 雅人

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羽多野, 忠

× 羽多野, 忠

WEKO 484608

羽多野, 忠

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浮田, 龍一

× 浮田, 龍一

WEKO 484609

浮田, 龍一

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笹井, 浩行

× 笹井, 浩行

WEKO 484610

笹井, 浩行

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長野, 哲也

× 長野, 哲也

WEKO 484611

長野, 哲也

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小池 雅人

× 小池 雅人

WEKO 484612

en 小池 雅人

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 従来の金属層(M層)を積層した回折格子上に反射率が高く消衰係数が小さな材料(T層)を積層してB-K発光(6.76nm、184eV)スペクトル周辺の回折格子の回折効率を高める方法の効果について理論的研究を行った。 これまでの論文では、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)オーバーコートしたNi回折格子でこの効果を確認している。本論文では、La、La2O3、LaF3層をT層、Niを層と仮定して数値計算によりこの方法の有効性を検討した。 その結果、波長6.76nm、85°の入射角において、回折効率は従来のNi回折格子の場合と比較して、それぞれLa、La2O3、LaF3層が26.8,29.8,29.8nmの最適厚さのT層が積層された回折格子で2.51,2.28,2.01倍となった。
書誌情報 X線分析の進歩

巻 48, 号 1, p. 122-128, 発行日 2017-03
出版者
出版者 アグネ技術センター
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 978-4-901496-87-2 C3043
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Ver.1 2023-05-15 23:30:26.122454
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