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アイテム
1～2 keV領域高spectral flux・高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価
https://repo.qst.go.jp/records/85817
https://repo.qst.go.jp/records/8581735d08ee4-80c1-470d-a8c9-0174490b4389
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-03-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 1～2 keV領域高spectral flux・高分解能軟X線ラミナー型多層膜回折格子の設計と評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× ピロジコフ, アレキサンダー× 大上, 裕紀× 林, 信和× Masato, Koike× Pirozhkov, Alexander |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 1～2 keV領域向けの軟X線多層膜回折格子の溝構造及び多層膜構造を回折効率及び分析感度と相関のあるspectral fluxを評価関数として設計した。その際、刻線密度は分解能を高めるため、これまでより溝本数が約1.3倍の3,200 本/mmを仮定した。また、多層膜造は非周期型である。回折格子の回折効率及びspectral flux、分光器としての結像特性、分解能について現状の金コートの回折格子と比較しながら述べる。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2022年第69回応用物理学会春季講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2022-03-24 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
