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「電子・イオンビームハンドブック」(第4版)
https://repo.qst.go.jp/records/84453
https://repo.qst.go.jp/records/844531a92abde-c5c2-45bc-b137-f6f9d2c29b9b
Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
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公開日 | 2021-12-29 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 「電子・イオンビームハンドブック」(第4版) | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
八巻, 徹也
× 八巻, 徹也× Tetsuya, Yamaki |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 18.2 単一の潜在飛跡を用いた加工技術:ナノ構造制御機能膜の創製 1.はじめに 2.イオン穿孔膜の作製 3.イオン穿孔膜の化学修飾 4. 潜在飛跡グラフト重合 5. まとめ として、TIARA等の高エネルギーイオンを用いた潜在飛跡による微細加工の研究例を解説。 |
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書誌情報 |
「電子・イオンビームハンドブック」(第4版) 発行日 2021-04 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 日本学術振興会第132委員会 | |||||
ISBN | ||||||
識別子タイプ | ISBN | |||||
関連識別子 | 978-4-600-00624-2 |