WEKO3
アイテム
軟X線レーザ表面加工
https://repo.qst.go.jp/records/83248
https://repo.qst.go.jp/records/8324800a7d6ea-cd27-4256-8c81-fbcb6a2bf9fd
Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
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公開日 | 2021-08-05 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 軟X線レーザ表面加工 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
資源タイプ | conference paper | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
石野, 雅彦
× 石野, 雅彦× Masahiko, Ishino |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | ピコ秒およびフェムト秒のパルス幅をもつ超短パルス軟X線レーザによる加工実験を行った.照射実験から,軟X線レーザが示す低い加工閾値は,物質のもつ軟X線の大きな吸収率と十分に短いパルス幅が要因であることがわかった.また,実験結果と理論モデルとの比較から加工過程の考察を行った.その結果,閾値近傍での金属表面の加工は,誘電体表面で起こるスパレーション過程とは異なり,溶融層の形成からはじまると考えられる. | |||||
書誌情報 |
第95回レーザ加工学会講演論文集 p. 57-61, 発行日 2021-08 |
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出版者 | ||||||
出版者 | レーザ加工学会 |