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C60イオンビームによる微細加工技術開発
https://repo.qst.go.jp/records/82930
https://repo.qst.go.jp/records/8293044598bf7-53fb-4f26-a7be-24b2d040dc6d
| Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-06-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | C60イオンビームによる微細加工技術開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
国部, 利寿(金属技研)
× 国部, 利寿(金属技研)× 竹内, 浩(金属技研)× 荒井, 秀幸(金属技研)× 橋本, 秀宏(金属技研)× 鳴海, 一雅× 齋藤, 勇一× 千葉, 敦也× 山田, 圭介× 平野, 貴美× Kazumasa, Narumi× Yuuichi, Saito× Atsuya, Chiba× Keisuke, Yamada× Yoshimi, Hirano |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 連携重点研究として実施している課題「高速クラスタービームによる生命科学・表面界面工学への応用研究」の小テーマ3「高速C60ビームによる微細加工技術開発」について2020年度の成果を報告する。 | |||||
| 書誌情報 |
連携重点研究2020(令和2)年度成果報告書 発行日 2021-06 |
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| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.tokai.t.u-tokyo.ac.jp/kaihoken/seikahoukoku/seika2020/ | |||||
