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アイテム
Fe-L（705eV）発光対応高回折効率・広受光角 ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価
https://repo.qst.go.jp/records/79963
https://repo.qst.go.jp/records/799639a3c1bd0-0b33-4a9e-946c-89648b557902
| アイテムタイプ | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-05-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Fe-L（705eV）発光対応高回折効率・広受光角 ラミナー型多層膜回折格子の製作と評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference output | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× 寺内, 正己× ピロジコフ, アレキサンダー× 林, 信和× 笹井, 浩行× 長野, 哲也× Koike, Masato× Pirozhkov, Alexander |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 電子顕微鏡を用いた軟X線発光分光法（SXES）利用では、最近Fe-L 発光（705 eV）付近での状態分析等に関心が高まっている。著者らはこの付近を中心とした分析強度の向上を図るため、回折格子面上に多層膜を付加する方法の有効性を数値計算で示した。今回は実際にラミナー型回折格子（刻線密度: 2400 本/mm、溝深さ：6.2 nm、表面物質: Au）の表面上に、多層膜（膜厚 7.4 nm の C 層と同 6.0 nm の W 層を交互に2 対積層）を付加し、回折効率を放射光施設（KEK-PF）で計測した。発表では入射角 86.2°における数値計算と実験により得た回折効率を示す。多層膜回折格子において705 eVで計算値の約66 %に相当する7.09 %の回折効率が得られ、設計方針の妥当性が確かめられた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 日本顕微鏡学会第76回学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2020-05-26 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
