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アイテム
フェムト秒レーザーアブレーションの軟Ｘ線時間分解計測
https://repo.qst.go.jp/records/79572
https://repo.qst.go.jp/records/79572c98be756-9b8e-4157-bf2e-402ff1008493
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-03-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | フェムト秒レーザーアブレーションの軟Ｘ線時間分解計測 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
長谷川, 登
× 長谷川, 登× 錦野, 将元× タンフン, ヂン× 石野, 雅彦× 南, 康夫× 末元, 徹× Noboru, Hasegawa× Masaharu, Nishikino× Dinh, Thanhhung× Masahiko, Ishino× Toru, Suemoto |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | フェムト秒レーザーアブレーションでは、固体中の電子と格子の衝突によるエネルギーの拡散時間よりもパルス幅が十分に短いため熱的な影響が従来の加工手法と比較して著しく小さくできる特徴がある。特にアブレーション閾値近傍では、表面にナノメートル級の微細構造が自発的に形成されることが広く知られており、新たな微細加工手法として期待されているが、微細・高速かつ長時間に渡る現象であるため、そのダイナミクスの実験的な理解は未だ十分ではない。本研究では、物質の表面状態の時間空間分解観測に最適な軟Ｘ線（波長13.9 nm(89 eV)）をプローブ光源とすることで、膨張する金属(Au)表面（Ablation Front: AF）及び表面から剥離した薄膜層（Spallation Shell: SS）の観測に成功し、アブレーションによりクレーターが形成されるまでの描像を明らかにした。本手法は、金属以外の様々な物質に対しても適用が可能であり、現在精力的に研究が進められている加工シミュレーターのベンチマークとしての役割が期待できる。 | |||||
| 書誌情報 |
プラズマ・核融合学会誌 巻 96, 号 2, p. 83-88, 発行日 2020-03 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 一般社団法人 プラズマ・核融合学会 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2020_02/jspf2020_02-83.pdf | |||||
