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アイテム
200‒900 eV 域対応高回折効率・広受光角 ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の製作と評価
https://repo.qst.go.jp/records/76106
https://repo.qst.go.jp/records/76106549dbcb9-9ce9-4f3b-8555-caf273792731
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-06-26 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 200‒900 eV 域対応高回折効率・広受光角 ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の製作と評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
羽多野, 忠
× 羽多野, 忠× 小池, 雅人× 寺内, 正己× ピロジコフ, アレキサンダー× 林, 信和× 笹井, 浩行× 長野, 哲也× Koike, Masato× Pirozhkov, Alexander |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 電子顕微鏡の試料上の電子線照射点を光源とする軟Ｘ線回折格子分光器による発光ペクトル計測は軽元素を含む材料の局所領域分析に有効である。最近、自動車用鋼板の軽量化等を目的として、鉄鋼の Fe-L 発光（705 eV）付近での状態分析に関心が高まっている。前回の講演では、Au 表面のラミナー型回折格子面上に W/C 多層膜を付加すると Fe L 発光を含む広い領域で回折効率の向上が期待できることを数値計算で示した 。今回は実際に多層膜回折格子を作製し、回折効率を評価したので得られた結果を報告する。W/C 多層膜を付加したラミナー型回折格子の仕様は、刻線密度: 2400 本/mm、溝深さ: 6.2 nm、デューティ比: 0.40、表面物質: Au である。まず W/C 多層膜付加前の回折効率を Photon Factory の BL-11D で計測した。その後、膜厚 7.4 nm の C 層と同 6 nm の W 層を順に 2 対、イオンビームスパッタリング法で付加し、再び回折効率を計測した。具体的には、エネルギー 705 eV における回折効率の入射角依存性、および入射角 86.2° における回折効率のエネルギー依存性を測定した。数値計算では入射角 86.2°、出射角 ‒83.5° の配置で最大 10.7% の回折効率が得られるが、実験ではその 66%に相当する 7.09 %の実測値が得られた。また、ピーク形状が再現されるとともにピーク以外でも Au 表面回折格子より高い回折効率を保つことが確かめられた。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-09-18 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
