WEKO3
アイテム
クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法
https://repo.qst.go.jp/records/74568
https://repo.qst.go.jp/records/74568e4f47e46-e657-48ba-b13f-78505309c4ec
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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公開広報 (301.2 kB)
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特許公報 (297.0 kB)
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Item type | 特許 / Patent(1) | |||||
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公開日 | 2019-02-28 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_1843 | |||||
資源タイプ | other | |||||
共願 | ||||||
値 | あり | |||||
公開番号 | ||||||
値 | JP2001-199542 | |||||
公開日 | ||||||
日付 | 2001-07-24 | |||||
特許番号 | ||||||
値 | 3446824 | |||||
登録日 | ||||||
日付 | 2003-07-04 | |||||
分類 | ||||||
値 | 画像診断, その他 |