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  1. 学会発表・講演等
  2. ポスター発表

量研・関西研における軟X線レーザーのビーム強度モニタ技術と偏光制御技術

https://repo.qst.go.jp/records/72811
https://repo.qst.go.jp/records/72811
8cfb6d05-ef0d-4d8b-b481-36a80ceb5acf
Item type 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2018-06-04
タイトル
タイトル 量研・関西研における軟X線レーザーのビーム強度モニタ技術と偏光制御技術
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference object
アクセス権
アクセス権 metadata only access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_14cb
著者 今園, 孝志

× 今園, 孝志

WEKO 717327

今園, 孝志

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今園 孝志

× 今園 孝志

WEKO 717328

en 今園 孝志

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 量研・関西研では、波長13.9 nmのピコ秒パルス幅のコヒーレント光源であるレーザー駆動プラズマX線レーザー(XRL)を提供し、その特徴を活用した干渉計測等が行われている。そのビーム強度はショット毎に大きく変動するためビーム強度モニタ技術が不可欠である。当該波長領域ではMo/Si多層膜が高効率な反射鏡として機能することが良く知られている。我々は、Mo/Si多層膜をX線フォトダイオードの受光面に直接積層したビーム強度モニタを開発し、XRLをプローブ光とする絶対反射率計測技術を確立するとともに、その応用研究としてMo/Si多層膜偏光子でXRLの偏光状態を制御し、直線偏光度を定量評価できることを明らかにした。また、最近、オーバーコーティングによる回折効率の高効率化を図ったMo回折格子ビーム強度モニタを開発し、それを用いた絶対反射率計測や偏光計測に成功した。講演では、量研・関西研におけるこれらのビーム強度モニタ技術と偏光制御技術について報告する。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述タイプ Other
内容記述 平成30年度立命館大学SRセンター研究成果報告会
発表年月日
日付 2018-06-16
日付タイプ Issued
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Ver.1 2023-05-15 19:35:48.033929
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