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アイテム
ボロン K-発光高感度分光計測のための La 膜付加高効率回折格子の開発
https://repo.qst.go.jp/records/66937
https://repo.qst.go.jp/records/6693784f86f58-a598-4241-a0cf-cca3d7b069fb
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-10-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ボロン K-発光高感度分光計測のための La 膜付加高効率回折格子の開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
羽多野, 忠
× 羽多野, 忠× 小池, 雅人× 西原, 弘晃× ピロジコフ, アレキサンダー× 寺内, 正己× 笹井, 浩行× 長野, 哲也× 小池 雅人× ピロジコフ アレキサンダー |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | ボロン（B）はわずか数 ppm の添加で鉄鋼の焼入れ性向上等の機能性を高めることで重要な元素であるが、これまで実用的な高感度計測法がなかった。最近我々は電子顕微鏡と組み合わせた軟X線回折格子分光器による発光ペクトル計測が局所分析に有効であることを示した。特に183 eV の B K-発光における公称検出限界は現状でも 20 ppm 程度と既存の他の分光法に比較して一桁以上感度が高い。さらなる高感度化への要求に応えるため、従来の Ni コート1200 本/mm ラミナー型回折格子の表面に DLC、TiO2、CeO2 等の薄膜を付加して回折効率増大効果を実験的に確認した。また、計算により付加膜として La が極めて有望であることを報告した 。今回、高回折効率膜としての La 層と保護膜としての C 層を付加した回折格子を作製して回折効率を実測した。測定は Photon Factory の BL-11D で実施した。入射角依存性の測定結果を図 1 に示す。入射角 84.83° で 34.3 % の回折効率が得られ、これまでの最高であった CeO2 84.85° の 28.2% を大幅に超えた。分光器の現状仕様である入射角87.07° での Ni 回折格子を基準にすると、入射光束増大との相乗効果で 5 倍の分光感度増大が可能であることがわかった。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2019-01-09 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
