WEKO3
アイテム
EUV光源ターゲットのアブレーションによる粒子発生のモデル構築
https://repo.qst.go.jp/records/66397
https://repo.qst.go.jp/records/66397ba1e3b47-a20c-45bb-927d-0844d823f76a
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-09-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | EUV光源ターゲットのアブレーションによる粒子発生のモデル構築 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木, 明× 砂原, 淳× 西原, 功修× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションにおける粒子生成の流体シミュレーションについて述べる。ラグランジ流体シミュレーションにメッシュの動的再配置を組み込んで粒子や気泡の生成ダイナミクスを計算できるようにし、レーザーによる加熱や衝撃波による粒子発生の条件について考察した結果を述べる。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-09-05 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
