WEKO3
アイテム
実験室でのイオンマイクロビーム利用の実現を目指して
https://repo.qst.go.jp/records/66101
https://repo.qst.go.jp/records/661017116b3d9-a51c-4cf9-81fb-d8427b880d3d
| アイテムタイプ | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-01-31 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 実験室でのイオンマイクロビーム利用の実現を目指して | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference output | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
石井, 保行
× 石井, 保行× 石井 保行 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 数100keVから数MeVのイオンマイクロビームは、生物細胞内の二次元微量元素分布可視化やレジスト材の三次元微細加工等に利用され、有効性が認められている。しかし、このビームの形成には全長30m程度の大型装置が必要であることが障害となり、普及が進んでいない。このため、加速・集束が同時にでき、大学の実験室や工場、病院等に設置できる小型装置の開発を進めている。具体的には、高縮小率を有する3段加速レンズ及びこれに適したプラズマ型のイオン源を開発し、これらを組合わせた300keV小型イオンマイクロビーム装置（全長：約1m、目標ビーム径：1μm）を構築した。これまでに120keVの水素イオンビームで2.8μm径を形成し、更にイオン源からのビームの発散角を小さくすることにより目標径を達成できる見通しが得られた。今後、目標ビーム径を達成するとともに、更に実用性の高い１MeV装置の開発を目指す。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 放射線利用フォーラム2017 in 高崎 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2017-01-26 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
