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アイテム
レーザー励起EUV 光源におけるターゲットアブレーションからの粒子放出のマクロシミュレーション
https://repo.qst.go.jp/records/66047
https://repo.qst.go.jp/records/66047ef6e39be-6216-46f4-aa2f-ad4bcbc8164b
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-12-19 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | レーザー励起EUV 光源におけるターゲットアブレーションからの粒子放出のマクロシミュレーション | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 砂原, 淳× 西原, 功修× 西川, 亘× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | レーザープラズマEUV光源において、スズ液滴ターゲットをプリパルスレーザー照射で粒子に分散する過程の最適化のために、輻射流体シミュレーションに粒子の分布、粒子とレーザーの相互作用の計算を組み込んで、EUV発生効率、出力などの現象を解析する物理モデル、計算手法について議論した。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2016年レーザー励起X線源とその応用研究会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-12-16 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
