WEKO3
アイテム
EUV光源用ターゲットのレーザーアブレーションにおける破砕、微粒子生成のマクロモデルの研究
https://repo.qst.go.jp/records/65983
https://repo.qst.go.jp/records/65983288af2fb-6e0c-49a2-87ab-3f72b0e42f12
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-10-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | EUV光源用ターゲットのレーザーアブレーションにおける破砕、微粒子生成のマクロモデルの研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐々木, 明
× 佐々木, 明× 佐々木 明 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | レーザープラズマEUV光源において、プリパルスレーザー照射によるターゲット物質の分散過程を取り扱うシミュレーションのモデリングについて、ターゲット物質の状態方程式や、粉体としての取り扱いなどの統計物理の視点で議論する。 | |||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 日本物理学会2016年秋季大会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-09-14 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
