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アイテム
レーザーイオン源用静電アナライザー電極の製作
https://repo.qst.go.jp/records/54744
https://repo.qst.go.jp/records/54744b10a4ce2-43dd-4c27-8acd-01ae33b08a41
| Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | レーザーイオン源用静電アナライザー電極の製作 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
山田, 圭介
× 山田, 圭介× 柏木, 啓次× 山田 圭介× 柏木 啓次 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | TIARAのイオン注入装置で加速する低価数重イオンビームの高強度化のため、レーザーイオン源の開発を行っている。イオン源で生成したプラズマ中のイオンの価数の分析は、下流の静電アナライザーの分析電極間電場で、プラズマ中のイオンを偏向することによって行う。しかし、既存の高価数イオン分析用の電極（偏向軌道半径150mm)では、高価数イオンに比べ運動エネルギーが低い低価数イオンをプラズマから分離するために必要な電場を印加できないため、価数分析が困難であった。そこで、高価数イオン分析時の既存電極の印加電場と同程度の電場を印加するため、低価数イオン分析用に偏向軌道半径が25mmの電極を新たに製作した。既存電極で価数分析が困難であった1.1keV(ピーク位置の運動エネルギー）の炭素プラズマの価数分析試験を行った結果、各価数の電流波形の合計が、上流のファラデーカップで測定した全電流波形と一致し、本電極で正確に価数分析が行えることを確認した。 | |||||
| 書誌情報 |
Proceedings of the 13th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan p. 978-980, 発行日 2016-11 |
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| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.pasj.jp/web_publish/pasj2016/proceedings/PDF/TUP0/TUP049.pdf | |||||
| 関連名称 | http://www.pasj.jp/web_publish/pasj2016/proceedings/PDF/TUP0/TUP049.pdf | |||||
