WEKO3
アイテム
C60、C70イオンによる炭素のスパッタリングII
https://repo.qst.go.jp/records/2007102
https://repo.qst.go.jp/records/20071025acf4ab5-a864-4f0b-a789-cd6f42282ba8
| アイテムタイプ | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||||||||||||
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| 公開日 | 2024-12-13 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | C60、C70イオンによる炭素のスパッタリングII | |||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6670 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | conference poster | |||||||||||||||
| 著者 |
鳴海 一雅
× 鳴海 一雅
× 山田 圭介
× 平野 貴美
× 千葉 敦也
× 齋藤 勇一
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| 抄録 | ||||||||||||||||
| 内容記述 | 0.03-7 MeV C60, C70 イオン衝撃による炭素のスパッタリング収量を測定した。同じ速度の単原子イオンによるスパッタリング収量と比較した結果、スパッタリング収量に対する非線形効果は観測されなかった。一方、C60, C70, Cイオン衝撃によるスパッタリング収量は電子的阻止能でスケールでき、このことは観測されたスパッタリングが電子励起に由来することを示す。 | |||||||||||||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||||||||||||
| 内容記述 | QST高崎サイエンスフェスタ2024 | |||||||||||||||
| 発表年月日 | ||||||||||||||||
| 日付 | 2024-12-10 | |||||||||||||||
