WEKO3
アイテム
傾斜屈折率型反射膜(GRIC)を付加したラミナー型回折格子を用いた SXES用発光分光器のFe-L～Cu-L～Zn-L領域でのSpectral Fluxと分析感度の向上
https://repo.qst.go.jp/records/2003231
https://repo.qst.go.jp/records/200323165b4f0f2-af34-45b6-9496-5499b054eaca
| アイテムタイプ | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2026-04-28 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | 傾斜屈折率型反射膜(GRIC)を付加したラミナー型回折格子を用いた SXES用発光分光器のFe-L～Cu-L～Zn-L領域でのSpectral Fluxと分析感度の向上 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference presentation | |||||||||||||||||
| 著者 |
小池 雅人
× 小池 雅人
× 羽多野 忠
× ピロジコフ アレキサンダー
× 村野 孝訓
× 越谷 翔悟
× 寺内 正己
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| 抄録 | ||||||||||||||||||
| 内容記述 | 0.7～1.1 keVの軟X線領域におけるSXES（軟X線発光分光）分析の感度向上を目的とし、傾斜屈折率型反射膜（GRIC）を付加したラミナー型球面回折格子を設計・製作した。性能指標として回折効率と開口数の積であるSpectral Fluxを用い、最適化した刻線密度3600本/mm、入射角86.70°、溝深さ4.8 nm、デューティ比0.46の回折格子を設計。W/B4C多層膜をコーティングしたホログラフィック回折格子の性能評価では、3.2～7.4％の回折効率を達成した。その結果、従来（2400本/mm、88.65°）と比較してSpectral Fluxが2～4倍に増加し、本領域における高感度化に成功した。 | |||||||||||||||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||||||||||||||
| 内容記述 | 第82回日本顕微鏡学会学術講演会 | |||||||||||||||||
| 発表年月日 | ||||||||||||||||||
| 日付 | 2026-05-26 | |||||||||||||||||
