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アイテム
傾斜屈折率型反射膜(GRIC)を付加したラミナー型回折格子を用いた発光分光器の Li-K～Al-L領域でのSpectral Fluxと分析感度の向上
https://repo.qst.go.jp/records/2002158
https://repo.qst.go.jp/records/2002158e6bacda8-6830-42bf-b2af-93a15d16127e
| アイテムタイプ | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2025-06-06 | |||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||
| タイトル | 傾斜屈折率型反射膜(GRIC)を付加したラミナー型回折格子を用いた発光分光器の Li-K～Al-L領域でのSpectral Fluxと分析感度の向上 | |||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference presentation | |||||||||||||||||||
| 著者 |
小池 雅人
× 小池 雅人
× 羽多野 忠
× ピロジコフ アレキサンダー
× 村野 孝訓
× 越谷 翔悟
× 近藤 公伯
× 寺内 正己
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Li-K、Al-L 発光等が存在する35～110 eVの真空紫外領域における発光分光器の分析感度を高める目的で、Auと炭素系材料で構成される傾斜屈折率型反射膜(GRIC)を付加したラミナー型球面回折格子を設計製作し、性能評価した。設計の際の性能ベンチマークとして、分析感度と相関があり、回折効率と開口数の積で定義されるSpectral Fluxを用いた。回折格子の格子定数と入射角がそれぞれ1/1000 mmと84.0°の場合で、回折格子の表面がAu又はB4Cの場合、最適化された溝深さとデューティ比は、共にそれぞれ30.0 nmと0.3であった。この溝形状の場合において、30 nm厚のAu層上にB4C膜を付加する場合、最適な膜厚は45 nmであった。評価実験用に、厚さ47 nmのB4CをAu上に積層した平面結像型の不等間隔溝ホログラフィック回折格子を作製した。実験では、電子顕微鏡から生成された電子ビームによって励起されたMg-LおよびAl-L発光光源、平面結像型分光器、およびCCDイメージング検出器を使用した。実験の結果、B4C層を付加した新型回折格子を使用した分光器は、従来の回折格子の場合と比較して、ほぼ同じスペクトル分解能と2.9～4.2倍の分析感度を示した。 | |||||||||||||||||||
| 会議概要（会議名, 開催地, 会期, 主催者等） | ||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 公益社団法人日本顕微鏡学会 第81回学術講演会 | |||||||||||||||||||
| 発表年月日 | ||||||||||||||||||||
| 日付 | 2025-06-10 | |||||||||||||||||||
