| アイテムタイプ |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2024-12-26 |
| タイトル |
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タイトル |
Effects of Thermal Energy on the Formation of Lattice Strain in VO2 Thin Films Grown on TiO2(001) |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
Nakamoto Reki
Okazaki Hiroyuki
Wakita Takanori
Yokoya Takayoshi
Muraoka Yuji
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
膜厚は、酸化膜の格子歪みを制御するためのよく知られた実験パラメータである。しかし、デバイス作製において環境と資源の保全を考慮すると、膜はできるだけ薄くする必要があり、薄くすることで発生する歪みをコントロールする方法を見つける必要性が高まっている。ここでは、酸化膜の格子歪み形成の要因としての熱エネルギーの重要性を示し、特に、二酸化チタン (TiO2) (001) 上に成長した二酸化バナジウム (VO2) 薄膜の面内格子歪みに対するパルスレーザー堆積 (PLD) 中のレーザーフルエンスの影響に焦点を当てた。VO2 薄膜は、KrF エキシマレーザー (λ = 248 nm) を使用して、レーザーフルエンスが 0.88 ～ 1.70 J/cm2 の範囲で堆積し、膜厚は 10 ～ 15 nm と臨界厚さを下回った。高いレーザーフルエンスで成長した膜は、滑らかな表面と完全に歪んだ面内格子を示し、低いレーザーフルエンスで成長した膜は、多数の小さな島と緩和された面内格子歪みを示した。金属-絶縁体転移（MIT）温度は、より高いレーザーフルエンスで成長した膜の方が、より低いレーザーフルエンスで成長した膜よりも低いことも分かった。また、Ti-V相互拡散が起こり、界面近くで固溶体（V1-xTixO2）を形成することも明らかにした。これらの観察結果は、レーザーフルエンスによって影響を受ける粒子の熱エネルギーが金属酸化物膜の格子歪みの形成に重要な要因であること、また、PLDにおけるレーザーフルエンスは酸化物膜の歪み管理のための効果的な実験パラメータであることを示唆している。私たちの研究結果は、金属酸化物における格子歪み形成の理解を深め、金属酸化物膜の格子歪みを制御するための効果的な方法を確立するための洞察を提供すると考えている。 |
| 書誌情報 |
Langmuir
巻 40,
号 46,
p. 24447-24454,
発行日 2024-12
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| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.1021/acs.langmuir.4c03004 |
