WEKO3
アイテム
ミクロ-マクロシミュレーションから迫るレーザー加工
https://repo.qst.go.jp/records/2000810
https://repo.qst.go.jp/records/2000810067ad26f-7ea0-48cd-a1cf-bcff64cc4e57
| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||
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| 公開日 | 2025-01-08 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | ミクロ-マクロシミュレーションから迫るレーザー加工 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||
| 著者 |
乙部 智仁
× 乙部 智仁
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| 抄録 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||
| 内容記述 | Recent developments in the simulations of processing of semiconductors and metals by femto- (10-15) second pulse laser, especially silicon and aluminum, are presented. Laser processing is a complex process involving nonlinear phenomena. We have developed microscopic first-principles calculations that describe the light-electron interaction, the semiclassical Vlasov equation that can also include relaxation in metal, and a novel temperature model that allows us to study the entire initial processing process. Each method allows us to analyze the entire process from the moment of laser irradiation to the stage of energy transfer to the lattice. This paper describes the details of the methods and the findings obtained from the results. | |||||||
| 書誌情報 |
表面と真空 巻 66, 号 10, p. 587-592, 発行日 2023-10 |
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| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 日本表面真空学会 | |||||||
| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 2433-5843 | |||||||
| DOI | ||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||
| 関連識別子 | 10.1380/vss.66.587 | |||||||
