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  1. 原著論文

Distinguishing the EH1 and S1 defects in n-type 4H-SiC by Laplace DLTS

https://repo.qst.go.jp/records/2000521
https://repo.qst.go.jp/records/2000521
e3aafce4-ab31-4f31-92b8-59406abf50f7
アイテムタイプ 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2024-07-01
タイトル
タイトル Distinguishing the EH1 and S1 defects in n-type 4H-SiC by Laplace DLTS
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Tihomir Kne?evi?

× Tihomir Kne?evi?

Tihomir Kne?evi?

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Tomislav Brodar

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牧野 高紘

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Ivana Capan

× Ivana Capan

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 We report on the low-energy electron and fast neutron irradiated 4H-SiC studied by deep-level transient spectroscopy (DLTS) and Laplace DLTS. Irradiations introduced two defects, Ec?0.4 eV and Ec?0.7 eV. They were previously assigned to carbon interstitial (Ci) labeled as EH1/3 and silicon-vacancy (VSi) labeled as S1/2, for the low-energy electron and fast neutron irradiation, respectively. This work demonstrates how Laplace DLTS can be used as a useful tool for distinguishing the EH1 and S1 defects. We show that EH1 consists of a single emission line arising from the Ci(h), while S1 has two emission lines arising from the VSi(h) and VSi(k) lattice sites.
書誌情報 Applied Physics Express

巻 15, 号 10, p. 101002, 発行日 2022-09
出版者
出版者 IOP Publishing
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1882-0778
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.35848/1882-0786/ac8f83
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Ver.1 2025-08-15 02:22:27.558500
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