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アイテム
増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計
https://repo.qst.go.jp/records/72888
https://repo.qst.go.jp/records/7288851e10f79-ddbb-49ad-8ebf-916d2f936ddd
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-08-07 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
小池, 雅人
× 小池, 雅人× 羽多野, 忠× ピロジコフ, アレキサンダー× 寺内, 正己× 西原, 弘晃× 笹井, 裕行× 長野, 哲也× 小池 雅人× ピロジコフ アレキサンダー |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Ni表面の上にランタン(La)の増反射膜と炭素(C)の保護膜を付加した回折格子を例にとり、B-K発光(6.76nm)を中心とした波長領域でスペクトル光量( = 回折効率×cosα)を最大化するために回折格子溝の形状, 増反射膜の膜厚,入射角等を最適化する系統的な設計法について述べる。現在広く使用されているNi表面の回折格子の場合と比較して、増反射膜の付加による高効率化と低入射角化により約6.6倍のスペクトル光量の増加が見込まれる結果を得た。 | |||||
| 会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第54回X線分析討論会 | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2018-10-26 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||