@misc{oai:repo.qst.go.jp:00072888, author = {小池, 雅人 and 羽多野, 忠 and ピロジコフ, アレキサンダー and 寺内, 正己 and 西原, 弘晃 and 笹井, 裕行 and 長野, 哲也 and 小池 雅人 and ピロジコフ アレキサンダー}, month = {Oct}, note = {Ni表面の上にランタン(La)の増反射膜と炭素(C)の保護膜を付加した回折格子を例にとり、B-K発光(6.76nm)を中心とした波長領域でスペクトル光量( = 回折効率×cosα)を最大化するために回折格子溝の形状, 増反射膜の膜厚,入射角等を最適化する系統的な設計法について述べる。現在広く使用されているNi表面の回折格子の場合と比較して、増反射膜の付加による高効率化と低入射角化により約6.6倍のスペクトル光量の増加が見込まれる結果を得た。, 第54回X線分析討論会}, title = {増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計}, year = {2018} }