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アイテム
Chemical States Analysis of Trace-boron by using an Improved SEM-SXES
https://repo.qst.go.jp/records/65932
https://repo.qst.go.jp/records/65932524d515a-17ed-42fd-8ac8-68cc328fcede
| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2016-07-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Chemical States Analysis of Trace-boron by using an Improved SEM-SXES | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
寺内, 正己
× 寺内, 正己× 高橋, 秀之× 高倉, 優× 村野, 孝訓× 小池, 雅人× 今園, 孝志× 長野, 哲也× 笹井, 浩行× 小池 雅人× 今園 孝志 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | マイクロチャンネルプレート(MCP)検出器とCMOSカメラと組み合わせた軟X線発光分光(SXES)-SEM装置を試作し、バルク試料の分析に適用した。MCPのチャンネルピッチを従来の15mmから7.5mmに改良することによりAl-L発光で0.13eVのエネルギー分解能を得た。バルク試料のAl-L発光スペクトルでは小さなL2端(フェルミ準位(EF)→L2殻)と大きなL3端(EF→L3殻)が明瞭に分離し、フェルミ分布関数の熱広がりを考慮するとエネルギー分解は0.08eVである。エネルギー分解は向上したが、アナログ積分モードに比べて、光子計数モードで良好な信号対雑音比を得ようとすると、より長い取得時間を要する。以下での微量ホウ素分析ではアナログ積分モードを用いており、残念ながら、エネルギー分解能は、光子計数モードのそれよりも数倍低い。B,P,Cの平均組成が45、53、41 ppm(wt.%)の炭素鋼の5か所の様々な析出物の位置での発光スペクトルを観測した。強いB-Kピークと共にO-K、N-K強度が強く観測された位置では窒化ボロン(B-N)、酸化ボロン(B-O)化合物の存在が示唆される。 | |||||
| 会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Microscopy & Microanalysis 2016 Meeting(M&M2016) | |||||
| 発表年月日 | ||||||
| 日付 | 2016-07-27 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||