@misc{oai:repo.qst.go.jp:00065932,
 author = {寺内, 正己 and 高橋, 秀之 and 高倉, 優 and 村野, 孝訓 and 小池, 雅人 and 今園, 孝志 and 長野, 哲也 and 笹井, 浩行 and 小池 雅人 and 今園 孝志},
 month = {Jul},
 note = {マイクロチャンネルプレート（MCP）検出器とCMOSカメラと組み合わせた軟X線発光分光（SXES）-SEM装置を試作し、バルク試料の分析に適用した。MCPのチャンネルピッチを従来の15mmから7.5mmに改良することによりAl-L発光で0.13eVのエネルギー分解能を得た。バルク試料のAl-L発光スペクトルでは小さなL2端（フェルミ準位(EF)→L2殻）と大きなL3端（EF→L3殻）が明瞭に分離し、フェルミ分布関数の熱広がりを考慮するとエネルギー分解は0.08eVである。エネルギー分解は向上したが、アナログ積分モードに比べて、光子計数モードで良好な信号対雑音比を得ようとすると、より長い取得時間を要する。以下での微量ホウ素分析ではアナログ積分モードを用いており、残念ながら、エネルギー分解能は、光子計数モードのそれよりも数倍低い。B,P,Cの平均組成が45、53、41 ppm(wt.%)の炭素鋼の5か所の様々な析出物の位置での発光スペクトルを観測した。強いB-Kピークと共にO-K、N-K強度が強く観測された位置では窒化ボロン(B-N)、酸化ボロン（B-O）化合物の存在が示唆される。, Microscopy & Microanalysis 2016 Meeting(M&M2016)},
 title = {Chemical States Analysis of Trace-boron by using an Improved SEM-SXES},
 year = {2016}
}