@article{oai:repo.qst.go.jp:00085889, author = {Kitamura, Miho and Souma, Seigo and Honma, Asuka and Wakabayashi, Daisuke and Tanaka, Hirokazu and Toyoshima, Akio and Amemiya, Kenta and Kawakami, Tappei and Sugawara, Katsuaki and Kosuke Nakayama and Yoshimatsu, Kohei and Kumigashira, Hiroshi and Sato, Takafumi and Koji, Horiba and Koji, Horiba}, journal = {Review of Scientific Instruments}, month = {Mar}, note = {KEKフォトンファクトリーのBL-28Aにおいて、Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた放射光集光ビームをベースに、汎用性の高いマイクロARPESシステムを開発した。Si上のAuフォトリソグラフィーパターンの空間マッピングにより、試料位置でのビームスポットサイズは10m(水平)×12m(垂直)を達成していることを確認した。マイクロビームと高精度な試料移動システムを用いることで、空間分解した正確なバンド構造マッピングが可能となる。}, pages = {033906-1--033906-8}, title = {Development of a versatile micro-focused angle-resolved photoemission spectroscopy system with Kirkpatrick-Baez mirror optics}, volume = {93}, year = {2022} }