@misc{oai:repo.qst.go.jp:00085306, author = {山田智子 and 岩瀬彰宏 and 松井利之 and 前川, 雅樹 and 河裾, 厚男 and 千星, 聡 and 田口昇 and 田中真吾 and 堀史説 and Masaki, Maekawa and Atsuo, Kawasuso}, month = {Mar}, note = {金属ナノ粒子は、電子状態に特異な量子効果を発現する場合があり、表面プラズモン共鳴吸収による着色や磁性などを持つ新規機能性材料として注目されている.金属ナノ粒子はイオン注により形成可能であるが,生成過程についての全容は解明はなされていない.更にイオン注入照射では、付与された局所的高密度エネルギーが瞬時に拡散するため非平衡状態が残留する場合があり,複数の異なるイオンを堆積させると全く新しい機能性粒子の創成が期待されるが、その研究例は極めて少ない.そこで本研究ではイオン注入で透明ガラス内に2種類の金属イオンを照射し,その際の照射順序を入れ替えた場合に生成するナノ粒子の特性や微細構造について評価した.量研高崎のイオン注入器にて380keVのAgイオンと200keVのNiイオンを同一SiO2試料に順番に照射し,その照射順序を入れ替えた試料を作成した.Ni,Agの順に照射した試料はAgイオンのみ照射した試料に生成するAg粒子の表面プラズモン共鳴(SPR)ピーク位置と分布に大きな違いは見られなかった.一方でAg,Niの順にイオン照射した試料は,AgのSPRピークに比べピーク位置が低波長側にシフトし分布幅も広がることがわかった.また,微小角X線回折の結果も照射順序を入れ替えた試料の回折パターンが異なっており,照射順序によって生成ナノ粒子の構造に違いが現れ,その光学特性にも違いが生じることがわかった.X線小角散乱(SAXS)にも照射順で違いが認められた.以上の結果より,イオン照射の非平衡状態の残留によりナノ粒子の複合化に照射順序が影響し,光学特性に粒径や微細構造などの影響が反映されることがわかった., 日本金属学会2022年春期(第170回)講演大会}, title = {二重イオン照射順序制御によるSiO2固体内Ag-Niナノ構造体の微細構造変化}, year = {2022} }