@misc{oai:repo.qst.go.jp:00085162, author = {羽多野, 忠 and 今園, 孝志 and 江島, 丈雄 and Takashi, Imazono}, month = {Mar}, note = {エネルギー 1-5 keV の領域で等周期多層膜のブラッグ条件を満たして高出力を発揮する多層膜回折格子分光器の開発を目指して、可変偏角型分光器の設計を行なっている。刻線密度 3200 本/mm のラミナー型回折格子基板に W (1.6 nm)/B4C (2.4 nm) の 40 周期多層膜を成膜して Photon Factory の BL-11D、11B、20B で回折効率を測定した。, 第69回応用物理学会春季学術講演会}, title = {1-5 keV 軟X線高出力分光器のための多層膜回折格子の試作}, year = {2022} }