@article{oai:repo.qst.go.jp:00083916, author = {佐藤, 隆博 and Takahiro, Satoh}, issue = {11}, journal = {ぶんせき}, month = {Nov}, note = {イオンビーム分析法のラザフォード後方散乱分析法、粒子励起エックス線放出分析法及び粒子励起ガンマ線放出分析法は、ターゲットにイオンビームを照射した際に発生する二次放射線を検出することで、ターゲット内の元素組成等の情報を得ることができる。これらの分析法は、これまで、生体試料、無機材料等の分析に用いられてきたが、最近はリチウムイオン電池の電極材料の分析にも利用されその有効性が明らかになってきた。今後も様々な分野でイオンビーム分析法の利用が期待される。}, pages = {616--621}, title = {イオンビームを用いる分析法と応用例}, volume = {2021}, year = {2021} }