@misc{oai:repo.qst.go.jp:00083816,
 author = {羽多野, 忠 and 小池, 雅人 and ピロジコフ, アレキサンダー and 垣尾, 翼 and 林, 信和 and 笹井, 浩行 and 長野, 哲也 and Masato, Koike and Pirozhkov, Alexander},
 month = {Jan},
 note = {軟Ｘ線平面結像型回折格子分光器においては、多層膜をコートすることに より、従来値より小さい入射角で取込み光量と回折効率を同時に増大さ せ、分光分析感度を飛躍的に向上させるさせることができる 。一方、低入射角化は分散の低下を招き検出器のピクセルサイズで制限される波長分解能が低下するが、刻線密度を大きくすることでこの問題を回避できる見込みがある。そこで従来の刻線密度 2400 本/mm と比較して約３割刻線密度が大きい 3200 本/mm のラミナー型回折格子を製作した。回折格子溝を形成する基板に表面粗さの異なる2種類の基板を使用した。AFM 観察による rms 粗さ実測値はそれぞれ 0.3 nm と 1.0 nm であった。各基板面上の一部に Au (30 nm) をコートし、別の場所に 705 eV の Fe L-発光領域で最適設計した C (6.84 nm)/W (4.56 nm) 3 周期多層膜とC 3.00 nm キャップ層を連続してコートした。PFの BL-11D で、入射角 86° および 88° の配置で、それぞれ0.5～1.2 keV および 1.1～1.56 keV の領域で回折効率を測定した。2種類の基板に対していずれも計算値と比較して面粗さ 0.6 nm rms 相当の回折格子実測値が得られた。設計エネルギー 705 eV 付近で 6.8% の回折効率最大値を取り、報告済みの 2400 本/mm W/C 多層膜回折格子での実測値 7.1% と遜色ない結果が得られた。今後、中心刻線密度を 3200
本/mm とする平面結像型不等間隔溝多層膜球面回折格子を製作して回折効率と発光分光器実機での結像特性の評価を行う。, 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム},
 title = {刻線密度 3200 本/mm 軟Ｘ線ラミナー型回折格子の製作とW/C 多層膜による回折効率増大},
 year = {2022}
}