@misc{oai:repo.qst.go.jp:00083297, author = {佐藤, 真一郎 and Shinichiro, Sato}, month = {Jul}, note = {窒化ガリウム中に希土類元素をごく微量購入させ、電流注入発光を用いることで励起光源不要で温度を精密に測定する技術です。この技術は名のサイズの位置分解能での温度分布の時間変動測定(二次元温度センサ)、細胞活動に伴う温度変化の計測(細胞内温度イメージング)、半導体デバイス内部の温度分布計測(リアルタイムデバイス診断)へと展開できます。, R3年度量研新技術説明会}, title = {窒化ガリウムを用いたナノメートル領域の温度計測}, year = {2021} }