@misc{oai:repo.qst.go.jp:00083207, author = {原, 博史 and 宮本, 明啓 and 増田, 開 and 蛯沢, 貴 and Kai, Masuda and Takashi, Ebisawa}, month = {Aug}, note = {超純水高圧水洗は、超伝導加速空洞内面を清浄に仕上げるための重要な工程である。三菱重工機械システムでは、超純水高圧水洗装置を自社導入し、各種超伝導加速空洞の洗浄に適用してきた。本発表では、三菱重工機械システムの超純水高圧水洗技術及び適用実績について報告する。, 第18回日本加速器学会年会}, title = {低β用超伝導加速空洞の超純水高圧水洗技術}, year = {2021} }