@article{oai:repo.qst.go.jp:00082925, author = {中嶋, 薫 (京大) and 森本, 和基 (京大) and 中村, 圭介 (京大) and 平野, 貴美 and 山田, 圭介 and 千葉, 敦也 and 鳴海, 一雅 and 齋藤, 勇一 and Yoshimi, Hirano and Keisuke, Yamada and Atsuya, Chiba and Kazumasa, Narumi and Yuuichi, Saito}, journal = {2020年度連携重点研究成果報告書}, month = {Jun}, note = {我々のグループで開発した、MeV級C60イオンを一次イオンとする透過型二次イオン質量分析(SIMS)イメージングは、サブµmの横方向分解能で生体試料を含む有機材料の分子イメージングが可能であるが、試料が導電性の薄膜で、かつ良い二次電子放出体である必要がある。そこで、本手法に適した試料の構成を探るために、一次イオン(9 MeV C60++)が入射する薄膜試料の上流側に形成する帯電防止膜の構成が異なる試料について透過型SIMSイメージング実験を行った。アルミニウムの単層膜を堆積した試料は一次イオンを照射したときに帯電が起こり、二次電子収率も低かったため、効率が悪くぼやけたイメージしか得られなかった。それに対して、最表面に極薄の金を蒸着したアルミニウムとの二層膜を堆積した試料では帯電が抑制され、明るくシャープなイメージが得られた。}, title = {MeV級C60イオンを用いたアミノ酸薄膜の透過型SIMSイメージング}, year = {2021} }