@misc{oai:repo.qst.go.jp:00082743, author = {寺内, 正己 and 戎, 凌吾 and 佐藤, 庸平 and 小池, 雅人 and Masato, Koike}, month = {Jun}, note = {エネルギー分解が従来より高い電子顕微鏡用の新型軟X線発光分光装置により鉄などの3d遷移金属酸化物のL発光スペクトルを測定した結果とその解析について報告する。従来装置を用いた測定でも内殻準位間の電子遷移(3s→2p)に由来するLl発光スペクトルに構造が存在することが見出されており、これは、終状態における3sホールのスピンと3d電子の磁気モーメントの相互作用に起因すると考えられている。しかし、従来装置ではエネルギー分解が十分でなかったため、これ以上の解析が困難であった。そのため、今回新たに分散の大きな分光光学系に最適化した回折格子を設計製作し、ピクセルサイズが小さく解像度の高い検出器を組み合わせたエネルギー分解が高い新型の分光器を設計製作した。透過型電子顕微鏡にこの分光器を装着し、鉄などの3d遷移金属酸化物のL発光測定を行った結果、以前に比較してLl発光スペクトルの化合物ごとの違いが明瞭にわかる測定ができた。Fe, Fe3O4, Fe2O3のFe-Lℓ,η発光スペクトルの比較ではFeに比べ、Fe3O4, Fe2O3では肩状の構造が見られ、さらに、その位置がFe3O4とFe2O3で異なっているように観察された。発表では、このスペクトルのピーク分離処理し、分離の大きさの定量評価を行った結果についても報告する。, 日本顕微鏡学会第77回学術講演会}, title = {HR-SXESの試作とFe-Lスペクトル測定}, year = {2021} }