@misc{oai:repo.qst.go.jp:00081658, author = {今園, 孝志 and 林, 信和 and 垣尾, 翼 and 笹井, 浩行 and 長野, 哲也 and Imazono, Takashi}, month = {Jan}, note = {我々は、近年テンダーX線と呼ばれ注目されている1~4 keVの範囲を同時に高分解能計測できる平面結像型分光器の開発に取り組んでいる。分光素子は非周期Ni/C多層膜回折格子で、従前2 keVであった分光範囲の上限を拡張できる上、入射角一定で幅広いエネルギー帯域(1~3.5 keV)を同時計測できる。分解能E/ΔEは100~300で、定性分析に用いられるエネルギー分散型X線分光器に比して約10倍高いものの、化学シフト分析や状態分析までは困難であった。本研究では、高分解能化を図るために平面回折格子と円筒鏡からなる分光器の光学特性を光線追跡等のシミュレーションにより検討した。分光器長は1.8 mで、従前の約0.5 mに比して4倍強ほど大きくなるものの、10~20倍程度高い分解能を期待できる。講演では分光器の設計、光学特性、非周期多層膜コーティング等の詳細について報告する。, 第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム}, title = {テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討(2)}, year = {2021} }