@inproceedings{oai:repo.qst.go.jp:00079151, author = {小野田, 忍 and 磯谷, 順一 and 寺地, 徳之 and 川原田, 洋 and 谷井, 孝至 and 加田, 渉 and 波多野, 睦子 and 大島, 武 and Onoda, Shinobu and Hatano, Mutsuko and Ohshima, Takeshi}, book = {電気学会研究会資料 電子デバイス研究会}, month = {Mar}, note = {ワイドバンドギャップ半導体中の点欠陥には、電子スピンの量子状態を利用した量子センサとして利用できるものがある。近年、ダイヤモンド中のNV(窒素空孔)センターは室温においても利用できることから、様々な量子センサとしての開発が進んでいる。発表では、我々の取り組んでいる量子ビームを利用した量子センサ開発状況について紹介する。}, pages = {17--22}, publisher = {電気学会2020}, title = {ワイドバンドギャップ半導体を利用した量子センサ開発}, volume = {EDD-20-036~044}, year = {2020} }