@misc{oai:repo.qst.go.jp:00078417,
 author = {今園, 孝志 and 垣尾, 翼 and 林, 信和 and 笹井浩行 and 長野哲也 and Imazono, Takashi},
 month = {Jan},
 note = {近年、比較的大きな侵入深さ（数μm）を持つ光子エネルギー約1～5 keVを用いたテンダーX線分光研究が、実動作中の機能性デバイスの非破壊的・元素選択的な評価・分析（オペランド計測）に有効であることから注目されている。我々はそのニーズに応えるため、非周期多層膜回折格子を搭載した平面結像分光器を開発してきた[1–3]。これらは幅広い領域（W/B4C：2～4 keV[1,2]、Ni/C：1～3.5 keV[3]）を比較的高いエネルギー分解能（E/ΔE = 100～300）で同時計測できることが特徴で、エネルギー分散型X線分光器に比して約10倍高い分解能で定性分析できる。一方で、当該分光器を化学シフト分析や状態分析等に用いるには高分解能化が不可欠である。
本研究では、新たな光学設計に基づく多層膜回折格子を搭載した高分解能テンダーX線分光器の開発に着手した。講演では、集光と分散（分光）を個々の光学素子が担うHettrick-Underwood型スリットレス平面結像分光器[4]の光学特性を光線追跡等のシミュレーションにより検討した結果について報告する。従前開発した分光器（球面回折格子1枚で集光と分散を担う）より3倍程度高い分解能を期待できることが示される。
本研究は、島津科学技術振興財団研究開発助成、科学研究費基盤研究（C）(No. 19K05281)の研究助成を受けて行われた。, 第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム},
 title = {テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討},
 year = {2020}
}