@misc{oai:repo.qst.go.jp:00078405, author = {松田, 裕之 and 鈴木, 慧 and 石川, 剛弘 and 小西, 輝昭 and 濱野, 毅 and 大野, 雄高 and 平尾, 敏雄 and 石井, 聡 and Ishikawa, Takahiro and Konishi, Teruaki and Hamano, Tsuyoshi}, month = {Mar}, note = {【はじめに】 近年,放射線治療では治療者の水晶体被ばくが問題となっており,視野を妨げずに眼球付近の線量をリアルタイム測定できる透明な検出器が必要とされている.これに対して我々は,表面に金属薄膜電極を作製した透明なPETシートを用いて,X線による発生電流をリアルタイム測定し線量率などに対する電気特性を評価してきた.透明検出器の実用化には,さらに電極にも透明な材料を使用する必要がある.本研究では,透明性と放射線耐性を有するカーボンナノチューブ(CNT)の薄膜を電極としてポリエチレンナフタレート(PEN)基板の同一表面上に作製し,X線発生電流をリアルタイム測定したのでその結果を報告する. 【実験と結果】 デバイスは,Fig. 1に構造を示したように厚さ125 μmのPEN基板(Teonex® Q65H,TEIJIN)の表面にメタルマスクを用いて単層CNT分散液(0.2 %,IPA)をスプレーコートし,CNT薄膜電極をパターニングすることで作製した.デバイスはアクリル製の照射窓がついたステンレス製の照射チャンバ内に設置し,約1×10-2 Paに真空引きした.続いて,デバイスに10 Vの電圧を印加した状態で,窓の外から実効エネルギー83 keVのX線照射を繰り返しながら電流をリアルタイム測定した.尚,線量率はX線源とデバイスとの距離で変化させた(1.18~36.10 mGy/sec).その結果,Fig. 2に各線量率における電流の時間依存性を示したように,X線照射による電流を検出し同一PEN表面上のCNT電極で電流応答を観測することができた.さらに,Fig. 3に示すように,X線電流は線量率の低い領域では線形に増加するが高い領域ではそうならなかったことから,チャンバ内に残留した空気が電離して出来た電荷がキャリアとして流れており,印加電圧ではまだ飽和領域に達していないと考えられる.これらの結果は,プラスチック基板とCNT電極による透明検出器の開発が有望であることを示している., 第67回応用物理学会春季学術講演会}, title = {同一表面上のCNT薄膜電極を用いたX線電流の検出}, year = {2020} }