@misc{oai:repo.qst.go.jp:00077152,
 author = {羽多野, 忠 and 小池, 雅人 and 寺内, 正己 and ピロジコフ, アレキサンダー and 林, 信和 and 笹井, 浩行 and 長野, 哲也 and Pirozhkov, Alexander},
 month = {Jan},
 note = {電子顕微鏡試料の軟Ｘ線発光の回折格子分光器によるスペクトル計測は局所領域分析に有効である。最近、自動車用鋼板の軽量化等を目的として Fe-L 発光の状態分析に関心が高く、現状性能に対して２倍程度の波長分解能向上の要求が出ている。検出器画素あたりの光子数を維持するため、我々は回折格子入射角の低下による集光効率増大と表面コーティングによる回折効率増大によって検出感度向上を図っている。従来型 Au 表面のラミナー型回折格子面上に W/C 多層膜を付加すると Fe L発光を含む広い領域で回折効率の向上が期待できることを数値計算で見出し、実際に多層膜回折格子を作製して Photon Factory の BL-11D で回折効率を計測した。結果を図1に示す。200–900 eV の広いエネルギー範囲で入射角 86.2° の W/C 多層膜回折格子が入射角 88.65° の Au 表面回折格子を大幅に上回ることが確かめられた。従来比で５倍の Fe-L 発光検出感度が期待できる。, 第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム},
 title = {3d 遷移金属 L 発光高感度分光計測のための ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発},
 year = {2020}
}