@article{oai:repo.qst.go.jp:00076041, author = {喜多村, 茜 and 石川, 法人 and 近藤, 啓悦 and 藤村, 由希 and Yamamoto, Shunya and 山本, 春也 and Yamaki, Tetsuya and Yamamoto, Shunya and Yamaki, Tetsuya}, issue = {3}, journal = {Transactions of the Materials Research Society of Japan}, month = {Jun}, note = {高速重イオンがセラミックスに真上から入射すると、イオン一つに対してヒロック(ナノメートルサイズの隆起物)が一つ表面に形成される。一方で近年、高速重イオンがチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)や酸化チタン(TiO2)の表面をかするように入射した場合、表面にはイオンの飛跡に沿って連続的に複数個のヒロックが形成されるとの報告がある。これらは原子間力顕微鏡(AFM)を用いて観察されているが、観察結果にはAFMのプローブ寸法由来の測定誤差を含んでいる。本研究では、ヒロックのサイズより十分小さい分解能(1.5nm)を有し、電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)を用いて連続ヒロックを観察し、形状の違いを検討した。SrTiO3(100)とNbを0.05 wt%添加した単結晶SrTiO3(100)に対し、350MeVのAuビームを、単結晶表面に対するイオンの入射角が2度以下となるよう照射した。SrTiO3はNbを添加することで電気伝導性が発現する。照射後のFE-SEM観察によって、SrTiO3(100)表面には長さ数百nmにわたって直径20 nmのヒロックが連続的に形成されていた一方で、Nbを添加したSrTiO3(100)表面では、ほぼ同じ長さで凹状に溝が形成されていることがわかった。}, pages = {85--88}, title = {FE-SEM observations of multiple nanohillocks on SrTiO3 irradiated with swift heavy ions}, volume = {44}, year = {2019} }