@article{oai:repo.qst.go.jp:00073825, author = {薄井, 絢 and 千葉, 敦也 and 山田, 圭介}, month = {2019-02-25}, title = {セシウムスパッタ―イオン源を利用した電子付着によるC60負イオン生成技術の開発}, year = {} }