@article{oai:repo.qst.go.jp:00073415,
 author = {今園, 孝志 and 西原弘晃 and 浮田龍一 and 笹井浩行 and 長野哲也 and Imazono, Takashi},
 journal = {The American Institute of Physics (AIP) Conference Proceedings},
 month = {Jan},
 note = {我々は、2～4 keVのテンダーＸ線領域で利用できる非周期W/B4C多層膜回折格子を開発している。近年の研究において、約60℃の熱負荷に対して多層膜構造は健全である一方、格子溝が刻線された樹脂（レプリカ回折格子）が著しく変形することが明らかとなった。我々の知る限り、そのような劣化は通常の金単層膜でコーティングされた回折格子では確認されていない。そこで、多層膜回折格子の耐熱性を改善するために高いガラス転移温度を持つ樹脂で製作したレプリカ回折格子に多層膜を積層し、熱負荷（95℃×６０時間）を実施した。その結果、熱負荷前後における回折効率のピーク値の変化率は3%以下と、極めて僅かであり、耐熱性の向上が確認された。},
 pages = {060020-1--060020-4},
 title = {Improvement study on heat resistance of multilayer-coated replica gratings},
 volume = {2054},
 year = {2019}
}