@misc{oai:repo.qst.go.jp:00073378, author = {寺岡, 有殿 and 寺岡 有殿}, month = {Aug}, note = {高真空を必要とする理由、高真空を用いた機器(荷電粒子ビーム応用機器、加速器、プラズマ応用機器、表面分析機器)について広く紹介する。, 第8回役に立つ真空技術入門講座}, title = {第8回役に立つ真空技術入門講座}, year = {2016} }